�����̽ӑ
LED����Ƭ�ij��L��ˇ��������С�e�w
�·�r(sh��)����ÿһ��(g��)6?������Ƭ��������(sh��)��ǧӋ(j��)��
оƬ���F(xi��n)�ڴ������Ĵ���VLSI��ÿһ��(g��)8?������Ƭ��Ҳֻ�����һ�ɰق�(g��)����оƬ������Ƭ�������m��(d��ng)��Ͷ�Y��(sh��)�ك|�����s��������ӹ��I(y��)�Ļ��A(ch��)��
�����辧�����L����������Ҫ�������ஔ(d��ng)�ߵĹ�V�����۠t�����������A(y��)���O(sh��)���õĽ������|(zh��)��ʹ�a(ch��n)�������Ĺ辧������Ҫ���������|(zh��)��������Ҫ���������|(zh��)�ڻ������L�Ɇξ��Ĺ辧�������������о����L���Ƴ�����B��
�����L����Ҫ��ʽ��
����1���ڻ���MELtDown��
�������^���nj��÷���ʯӢ��偃�(n��i)�ĉK���(f��)����ӟ��Ƹ��ڔz��1420�ȵ��ڻ��ض�֮�������A��������Ҫ�ą���(sh��)����偵�λ���c�����Ĺ���(y��ng)����ʹ���^��Ĺ��ʁ��ڻ���(f��)������ʯӢ��偵ĉ�����(hu��)��������֮����̫�̈́t�ڻ����^���M(f��i)�r(sh��)̫����Ӱ����w�Įa(ch��n)����
����2���i�����L��Neck Growth��
������(d��ng)���ڝ{�Ĝضȷ�(w��n)��֮����������ľ��N�u�uע��Һ�������������N������������ʹֱ���sС��һ�����s6mm�����S�ִ�ֱ�������L10-20cm�����������N��(n��i)���Ųdislocation�����˷N���Ųdislocation-free���Ŀ�����Ҫ�錢�Ų�������i���ij��L��
����3�����ڳ��L��Crown Growth��
�����L���i���������ؽ��������c�ض���ʹ�i����ֱ����u���ӵ�����Ĵ�С��
����4�����w���L��Body Growth��
�������������c�ض�׃�����{(di��o)�����t�S�̶ֹ��ľ���ֱ����������偱�횲�����������S�̶ֹ���Һ��߶�����������偂���������Һ���ݗ����(hu��)��u��������ݗ���Դ����ʹ�̘I(y��)����Ĝض��ݶ���u׃С�������ھ������L�A�ε����ٱ����u�ؽ������Ա��⾧��Ť���ĬF(xi��n)��a(ch��n)����
����5������L��Tail Growth��
������(d��ng)���w���L���̶�����Ҫ�����L�Ⱥ���������ֱ�������u�ؿsС��ֱ���cҺ����_�����˱�����ᑪ(y��ng)������Ų��c������F(xi��n)����
�����и
���������L���Ժ�Ϳ������и��һƬһƬ�ģ�Ҳ��������Ƭ��оƬ���AƬ����
�댧(d��o)�wԪ����оƬ��оƬ�Ļ������������L���ĸ��ȹ�Ԫ�ؾ�����Crystal Ingot������������֮�A�α�Ƭ�Q������Ƭ������Ƭ����
�����ھ���
�����黯���ھ����Ƴ̵IJ�ͬ���ɷ֞�LPE��Һ���ھ�����MOCVD���ЙC(j��)���ٚ����ھ�����MBE���������ھ�����LPE�ļ��g(sh��)�^������Ҫ����һ��İl(f��)����O�w����MBE�ļ��g(sh��)�Ӵ��^�������׳��L�O�����ھ����Ҽ��ȸ���ƽ���Ժã������a(ch��n)���������ھ����L�ٶ�����MOCVD���˼��ȸ���ƽ���Ժ��������a(ch��n)�������ھ����L�ٶ����^MBE��죬���ԬF(xi��n)�ڴ���MOCVD�����a(ch��n)��
�������^�������nj�GaAs�r���밺�F���ЙC(j��)���W(xu��)������e�t����MOCVD���ַQ���Ӡt������ͨ��III��II�����Ԫ�ص��������������һ���������c�ǽ��٣�V��VI��Ԫ�أ��Ě仯����������w���ڸߜ��£��l(f��)����ⷴ��(y��ng)������III-V��II-VI�廯������e���r���ϣ����L��һ�Ӻ�ȃH���ף�1����=1000�ף��Ļ�����댧(d��o)�w���ӌ����L�����ӌӵ�GaAsƬҲ���dz��Q������Ƭ������Ƭ��(j��ng)оƬ�ӹ�����ͨ늾��ܰl(f��)����ɫ�ܼ��Ć�ɫ������tɫ���Sɫ������ͬ�IJ��ϡ���ͬ�����L�l���Լ���ͬ�����ӌӽY(ji��)��(g��u)�����Ը�׃�l(f��)�����ɫ���������䌍(sh��)���ڎ�������ӌ����������l(f��)���Ҳ�H�����еĎװټ{�ף�1��=1000�{�ף����������Y(ji��)��(g��u)��
��������(y��ng)ʽ��Ga��CH3��3 PH3= GaP3CH4
����
