��led����ԭ����֪������Ƭ������LED�ĺ��IJ��֣�������LED�IJ��L������������늉�����Ҫ��늅���(sh��)������ȡ�Q������Ƭ����������Ƭ���g�c�O���� ����Ƭ���켼�g���P�I�����������ЙC�ﻯ�W������e(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition�����QMOCVD)���g���LIII-V����II-VI�廯���Ｐ�Ͻ�ı��ӆξ�����Ҫ�������������P��LEDδ������Ƭ���g��һЩ�l(f��)չڅ����
1.���M�ɲ������L��ˇ
Ŀǰ�̘I(y��)�����a(ch��n)���õ��ǃɲ����L��ˇ����һ�ο��b���r�ה�(sh��)���ޣ�6Ƭ�C���^���죬20Ƭ���ҵęC�_߀�ڳ�������Ƭ��(sh��)�^���������Ƭ�����Բ������l(f��)չڅ���� �ɂ�����һ���_�l(f��)��һ���ڷ��������b��������r������Ƭ���L�������m����Ҏ(gu��)ģ�����a(ch��n)�ļ��g���Խ��ͳɱ�������һ�������Ǹ߶��Ԅӻ��Ŀ��؏��ԵĆ�Ƭ�O�䡣
2.�仯����������Ƭ(HVPE)���g
�����@�N���g���Կ������L����λԪ�e�ܶȵĺ�Ĥ�����������������������M��ͬ�|(zh��)����Ƭ���L���r�ס����Һ��r���x��GaN��Ĥ�п��ܳɞ��w�ξ�GaNоƬ�����Ʒ��HVPE��ȱ�c�Ǻ��y���_����Ĥ�����������w���O����и��g�ԣ�Ӱ�GaN���ϼ��ȵ��Mһ�������
3.�x��������Ƭ���L���(c��)������Ƭ���L���g
�����@�N���g�����Mһ���p��λԪ�e�ܶ�������GaN����Ƭ�ӵľ��wƷ�|(zh��)�������ں��m���r����(�{��ʯ��̼����)���eһ��GaN���������ϳ��eһ�Ӷྦྷ�B(t��i)�� SiO��Ĥ����Ȼ�����ù�̺Ϳ��g���g���γ�GaNҕ������Ĥ�ӗl�����S������L�^����������ƬGaN������GaNҕ�������L��Ȼ���ٙM�����L��SiO�l ����
4.�ҿ�����Ƭ���g(Pendeo-epitaxy)
�����@�N�������Դ��p�������r������Ƭ��֮�g����ʧ��͟�ʧ�����l(f��)������Ƭ���д����ľ���ȱ�����Ķ��Mһ�����GaN����Ƭ�ӵľ��wƷ�|(zh��)�������ں��m���r�� ��( 6H-SiC��Si)���Ãɲ���ˇ���LGaN����Ƭ����Ȼ������ƬĤ�M���x�^(q��)���g��һֱ���뵽�r�����@�Ӿ��γ���GaN/���_��/�r������Y���͜ϲ۽��� ���ΠȻ�����M��GaN����Ƭ�ӵ����L���˕r���L��GaN����Ƭ�ӑҿ��ڜϲ��Ϸ�������ԭGaN����Ƭ�ӂ�(c��)�ڵęM������Ƭ���L�������@�N����������Ҫ��Ĥ����� ������GaN���ZĤ����֮�g�Ľ��|��
5.�аl(f��)���L�̵�UV LED����Ƭ����
����l(f��)չUV����ɫΞ�����LED�춨�������A���ɹ�UV�⼤�l(f��)�ĸ�ЧΞ��ۺܶ�����l(f��)��Ч�ʱ�Ŀǰʹ�õ�YAG��Ce�wϵ���S�����@������ʹ��LED�ϵ����_�A��
6.�_�l(f��)����������оƬ���g
��������������оƬ�l(f��)��ӵ����L�^���������s��ͬ���s�|(zh��)������Y����ͬ����������ͨ�^��ͬ������l(f��)���Ķ�N���ӏͺ�ֱ�Ӱl(f��)���⡣ԓ������߰l(f��)��Ч�����ɽ��ͳɱ������Ͱ��b���·�Ŀ����y���������g�y�������^����
7.�_�l(f��)��������ޒȦ�����g
�ձ�Sumitomo��1999��1�����Ƴ�ZnSe���ϵİ�LED���似�g������ZnSe�ξ����������Lһ��CdZnSe��Ĥ��ͨ늺�ԓ��Ĥ�l(f��)�����{ ���c����ZnSe���ðl(f��)�����a���S�����Ķ��γɰ��Դ������Boston��W�����о�������ͬ�ӵķ������{��GaN-LED�ϯB��һ��AlInGaP�� ���w�ͺ�����Ҳ�����˰���
LED����Ƭ��ˇ
�r��>>�Y���OӋ>>���_�����L>>N��GaN�����L>>��������l(f��)������L>>P��GaN�����L>>�˻�>>�z�y����Ξ����X�侀��>>����ƬƬ
����Ƭ>>�OӋ���ӹ���ģ��>>���>>�x�ӿ��g>>N��늘O���Ĥ���˻������g��>>P��늘O���Ĥ���˻������g��>>��Ƭ>>оƬ�֙z���ּ�
����
