

�댧(d��o)�w��������Ҫ�Ò���SiƬ(PW)������SiƬ����IC��ԭ������20���o(j��)80��������_(k��i)ʼʹ������Ƭ�������И�(bi��o)��(zh��n)PW�������е�ijЩ늌W(xu��)���Բ��������S���ھ��w���L(zh��ng)�����ľ�Ƭ�ӹ���������ı���/������ȱ����
�vʷ��������Ƭ����SiƬ���������a(ch��n)����������IC����������������Ҫ�چξ�SiƬ�����ϳ��eһ���Ćξ�Si����һ�����ӌӵĺ�Ȟ�2��20��m�����r��Si��Ȟ�610��m(150mmֱ��Ƭ��725��m(200mmƬ)��
���ӳ��e�ȿ�(ͬ�r(sh��))һ�μӹ���Ƭ��Ҳ�ɼӹ���Ƭ����Ƭ����(y��ng)�������a(ch��n)���|(zh��)����õ����ӌ�(��ȡ�����ʾ����Ժ���ȱ����);�@�N����Ƭ����150mm��ǰ�ء��a(ch��n)Ʒ��������Ҫ200mm�a(ch��n)Ʒ�����a(ch��n)��
���Ӯa(ch��n)Ʒ
���Ӯa(ch��n)Ʒ��(y��ng)����4��(g��)������CMOS���a(b��)����������댧(d��o)�w֧����Ҫ��С�����ߴ��ǰ�ع�ˇ��CMOS�a(ch��n)Ʒ������Ƭ�����(y��ng)���I(l��ng)��������IC���������ڲ��ɻ֏�(f��)������ˇ������̎������߉оƬ�Լ��惦(ch��)����(y��ng)�÷�����W�ٴ惦(ch��)����DRAM(��(d��ng)�B(t��i)�S�C(j��)��ȡ�惦(ch��)��)�������댧(d��o)�w��������Ҫ����о���Si���Ե�Ԫ�������殐��(exotic)�댧(d��o)�w�(l��i)����һЩ�طN�a(ch��n)Ʒ,����Ҫ�÷�Si���ϣ������S��Ҫ�û�����댧(d��o)�w���ϲ������ӌ���������Ӱ댧(d��o)�w�����p�O���w��Ԫ����(n��i)��?f��)��s�^(q��)�M(j��n)���������x���@Ҳ�������Ӽӹ��г��e����
Ŀǰ��200mm��Ƭ�У�����Ƭռ1/3��2000�꣬����������ڃ�(n��i)������߉������CMOSռ��������Ƭ��69%��DRAMռ11%����������ռ20%����2005����CMOS߉��ռ55%��DRAMռ30%����������ռ15%��
LED����Ƭ--�r�ײ���
�r�ײ����ǰ댧(d��o)�w�����a(ch��n)�I(y��)���g(sh��)�l(f��)չ�Ļ�ʯ����ͬ���r�ײ�������Ҫ��ͬ���������L(zh��ng)���g(sh��)��оƬ�ӹ����g(sh��)���������b���g(sh��)���r�ײ��ϛQ���˰댧(d��o)�w�������g(sh��)�İl(f��)չ·��(xi��n)���r�ײ��ϵ��x����Ҫȡ�Q�����¾ł�(g��)���棺
[1]�Y(ji��)��(g��u)���Ժ������Ӳ����c�r�ľ��w�Y(ji��)��(g��u)��ͬ�����������(sh��)ʧ���С���Y(ji��)�����ܺ���ȱ���ܶ�С;
[2]�������Ժ������������Ӳ��ϳɺ���𤸽�ԏ�(qi��ng);
[3]���W(xu��)��(w��n)���Ժã����������L(zh��ng)�ĜضȺ͚���в����ֽ���g;
[4]��W(xu��)���ܺ���������(d��o)���Ժú͟�ʧ���С;
[5]��(d��o)��Ժ������Ƴ����½Y(ji��)��(g��u);
[6]��W(xu��)���ܺ����������������l(f��)���Ĺⱻ�r������С;
[7]�C(j��)е���ܺ����������ӹ��������p����������и��;
[8]�r(ji��)�����;
[9]��ߴ���һ��Ҫ��ֱ����С��2Ӣ����
�r���x��Ҫͬ�r(sh��)�M(m��n)�����Ͼł�(g��)�����Ƿdz����y����������Ŀǰֻ��ͨ�^(gu��)�������L(zh��ng)���g(sh��)��׃���������ӹ���ˇ���{(di��o)����(l��i)�m��(y��ng)��ͬ�r���ϵİ댧(d��o)�w�l(f��)���������аl(f��)�����a(ch��n)�����ڵ�����о����r�ײ��ϱ��^�����������������a(ch��n)���r��Ŀǰֻ�����N�����{(l��n)��ʯAl2O3��̼����SiC�r���Լ�Si�r����
�u(p��ng)�r(ji��)�r�ײ��ϱ�횾C�Ͽ��]�������أ�
1.�r���c����Ĥ�ĽY(ji��)��(g��u)ƥ�䣺���Ӳ����c�r�ײ��ϵľ��w�Y(ji��)��(g��u)��ͬ�����������(sh��)ʧ��С���Y(ji��)�����ܺá�ȱ���ܶȵ���
2.�r���c����Ĥ�ğ���Ûϵ��(sh��)ƥ�䣺����Ûϵ��(sh��)��ƥ��dz���Ҫ������Ĥ�c�r�ײ����ڟ���Ûϵ��(sh��)������^(gu��)�H����ʹ����Ĥ�|(zh��)���½���߀��(hu��)�����������^(gu��)���������ڰl(f��)�����������ēp�ģ�
3.�r���c����Ĥ�Ļ��W(xu��)��(w��n)����ƥ�䣺�r�ײ���Ҫ�кõĻ��W(xu��)��(w��n)���������������L(zh��ng)�ĜضȺ͚���в��ֽ���g��������?y��n)��c����Ĥ�Ļ��W(xu��)����(y��ng)ʹ����Ĥ�|(zh��)���½���
4.�����Ƃ���y�׳̶ȼ��ɱ��ĸߵͣ����]���a(ch��n)�I(y��)���l(f��)չ����Ҫ���r�ײ��ϵ��Ƃ�Ҫ��(ji��n)�����ɱ����˺ܸ����r�׳ߴ�һ�㲻С��2Ӣ�硣
��(d��ng)ǰ����GaN��LED���r�ײ��ϱ��^����������������Ʒ�����r��Ŀǰֻ�����N�����{(l��n)��ʯ��̼�����Լ����r���������T��GaN��ZnO�r��߀̎���аl(f��)�A�����x�a(ch��n)�I(y��)��߀��һ�ξ��x��
����扣�
����GaN���L(zh��ng)���������r����GaN�ξ��������ɴ���������Ĥ�ľ��w�|(zh��)��������λ�e(cu��)�ܶ����������������������߰l(f��)��Ч�������������������ܶ��������Ƃ�GaN�w�ξ��dz����y����Ŀǰ��ֹ߀δ����֮��Ч���k����
�����\��
ZnO֮�����ܳɞ�GaN���ӵĺ��x�r�ף�����?y��n)���߾��зdz��@�˵�����֮̎�����߾��w�Y(ji��)��(g��u)��ͬ�������R(sh��)�e�ȷdz�С���������Ƚӽ�(�����B�m(x��)ֵС�����|��(sh��)��С)��������ZnO����GaN�����r���������c(di��n)����GaN�������L(zh��ng)�ĜضȺ͚�����ֽ���g��Ŀǰ��ZnO�댧(d��o)�w�����в����Á�(l��i)��������������ߜ������������Ҫ�Dz����|(zh��)���_(d��)��������ˮƽ��P�͓��s��(w��n)�}�](m��i)�еõ�������Q���m��ZnO���댧(d��o)�w�������L(zh��ng)���O(sh��)����δ���Ƴɹ���
�{(l��n)��ʯ��
����GaN���L(zh��ng)���ձ���r����Al2O3���䃞(y��u)�c(di��n)�ǻ��W(xu��)��(w��n)���Ժã������տ�Ҋ(ji��n)�����r(ji��)���m�������켼�g(sh��)����(du��)���졣��(d��o)���Բ��mȻ������С��������Л](m��i)�б�¶���@�������s�ڹ��������������������(w��n)�}ʮ��ͻ���� ̼���裺 SiC�����r�ײ��ϑ�(y��ng)�õďV���̶ȃH�����{(l��n)��ʯ��Ŀǰ�Ї�(gu��)�ľ��ܹ�늵Ľ��L(f��ng)�������Si�r�������L(zh��ng)���˿����Á�(l��i)�̘I(y��)����LED����Ƭ��Si�r���ڌ�(d��o)��������(w��n)���Է���Ҫ��(y��u)���{(l��n)��ʯ���r(ji��)��Ҳ�h(yu��n)�h(yu��n)�����{(l��n)��ʯ����һ�N�dz���ǰ;���r����SiC�r���л��W(xu��)��(w��n)���Ժ�����(d��o)����ܺ�����(d��o)�����ܺá������տ�Ҋ(ji��n)����������㷽��Ҳ��ͻ������r(ji��)��̫�ߣ����w�|(zh��)���y���_(d��)��Al2O3��Si��ô�����C(j��)е�ӹ����ܱ��^����������SiC�r������380�{�����µ�����⣬���m���Á�(l��i)�аl(f��)380�{�����µ�����LED������SiC�r������Č�(d��o)����ܺ͌�(d��o)�������������^�õؽ�Q������GaNLED������ɢ�ᆖ(w��n)�}�����ڰ댧(d��o)�w�������g(sh��)�I(l��ng)��ռ��Ҫ��λ�� ͬ�{(l��n)��ʯ�����SiC�cGaN����Ĥ�ľ���ƥ��õ����������⣬SiC�����{(l��n)ɫ�l(f��)�����������Ҟ�����������������늘O��ʹ�����ڰ��bǰ��(du��)����Ĥ�M(j��n)����ȫ�y(c��)ԇ�ɞ����������(qi��ng)��SiC�����r�ײ��ϵĸ�(j��ng)��(zh��ng)��������SiC�ČӠ�Y(ji��)��(g��u)���ڽ������r���c����Ĥ֮�g���ԫ@�ø��|(zh��)���Ľ��������@�����(ji��n)�������ĽY(ji��)��(g��u);����ͬ�r(sh��)������Ӡ�Y(ji��)��(g��u)�����r�ı��泣�нo����Ĥ���������ȱ�ݵ��_(t��i)�A���F(xi��n)�� ��(sh��)�F(xi��n)�l(f��)��Ч�ʵ�Ŀ��(bi��o)Ҫ��ϣ����GaN�r��LED����(sh��)�F(xi��n)�ͳɱ���ҲҪͨ�^(gu��)GaN�r��(d��o)�¸�Ч������e���Ο����ʵČ�(sh��)�F(xi��n)���Լ�����(d��ng)�Ĺ�ˇ���g(sh��)�ĺ�(ji��n)���ͳ�Ʒ�ʵĴ��������댧(d��o)�w����һ���ɞ�F(xi��n)��(sh��)�������x�����ڐ�(��i)�����l(f��)���ן����һ�����r���P(gu��n)�I���g(sh��)�I(l��ng)��ȡ��ͻ������a(ch��n)�I(y��)���M(j��n)�̌���(hu��)ȡ���L(zh��ng)��l(f��)չ��

