GaN �������ڹ�������еđ�(y��ng)�����õ���Խ��Խ���˵��P(gu��n)ע�����ڽ��� GaN ���l(f��)����O�ܵ�����ȡ���˺ܴ�������ʹ�� GaN ���l(f��)����O���ںܶ��I(l��ng)��ȡ���ˑ�(y��ng)�������罻ͨ��̖�����Ƅ��Ԓ��������܇β�����̾��xͨ�������Ӌ��C��“(li��n)�ȡ��������ڷ�ݗ��ȱ�ݵ�������ʹ�� GaN ���l(f��)����O�ܵă�(n��i)����Ч�����Ҝؕr���h�hС�� 100% ����������(d��o)�� GaN ���l(f��)����O��������Ч�ʲ��ߵ�ԭ��ܴ�̶������ڵ��������ӌӺͿ՚�ķ���ϵ��(sh��)��^��(d��o)�µ�ȫ���䆖�}������(j��)����� GaN �Ϳ՚�ķ���ϵ��(sh��)�քe�� 2.5 �� 1 ������� InGaN-GaN ���ԅ^(q��)�a(ch��n)���Ĺ��܉������ȥ���R��Ǽs�� 23�� ���@��������� GaN ���l(f��)����O�ܵ�������Ч�� [1] ���ܶ�������� GaN ���l(f��)����O�ܵij���Ч�ʷ��涼���˺ܶ๤��������Ҳ���^�ࡣ������Ҫ��Bһ�����ñ���ֻ����k������������ij���Ч����

����Huang ���� [2] ���ü���ݗ�յķ����ڂ��y(t��ng)�� IaGaN/GaN �l(f��)����O���ϲ� p-GaN �����γɼ{�׼��ֲڌ����@�����f�Ă��y(t��ng)�� GaN �l(f��)����O�ܵĽY(ji��)��(g��u)�飺 560 �� ���L 30nm ���GaN �͜ؾ��_����һ�� 2��m ���δ���s GaN ����һ���� 1050 �� ���L�� 1.5��m ��� n-GaN ����һ������ 5 ��ѭ�h(hu��n)�ĵ� In 0.21 Ga 0.79 N 2nm /GaN 5nm �����Ӿ�����һ�� 0.3��m ��� p-GaN �ӡ����Ҳ��ñ���ֻ�̎���������͂��y(t��ng)����������ͬ�����L�����Ͳ��E�Ƃ�����(j��ng)�^����ֻ��� p-GaN ����������ֲڶ��� 2.7nm ���ӵ��� 13.2nm ���Y(ji��)���@ʾ�����ñ���ֻ�̎�����������ڼ��� 20mA ����r����������� 25% �����ǹ���늉��� 3.55 ���͵��� 3.3V �����ñ���ֻ�̎����������ϵ�y(t��ng)��轵���� 29% ���@��������ֻ��������˽��|��e�ͽ�(j��ng)�^����ݗ�պ��������˸��ߵĿ�Ѩ��ȡ�

�����ܶ��� [3-7] ���ñ���ֻ�����߳���Ч�������о�����Ҫ���õķ�����������ֻ�����Ƭ�I�Ϻͼ����r�ׄ��x���g(sh��)���������@Щ�о���ֻ��ע���������� GaN ���l(f��)����O��픲�һ������Ĵֻ��ϡ� W. C. Peng ���� [8] �������p�ӱ���ֻ�����߳���Ч�������о��� Wei chih peng �����Ƃ������N LED ��������D 1 ��ʾ������ CV-LED ��ʾδ���κα���ֻ�̎���� LED �� PR-LED ��ʾ p-GaN �M�дֻ�̎���� LED �� DR-LED ��ʾ p-GaN �Ӻ� undoped-GaN ���M�дֻ�̎���� LED ��

�D 1 �������Y(ji��)��(g��u)ʾ��D

�����@�� LED �������Y(ji��)��(g��u)�������{��ʯ�r������ 550 �� ���L�ľ��_����һ���� 1050 �� ���L�� 2��m ��� undoped-GaN ����һ���� 1050 �� ���L�� 2��m ��� n-GaN ����һ���� 800 �� ���L�ģ����� 6 ��ѭ�h(hu��n)�� InGaN(3 nm) /GaN(9 nm) �����Ӿ���һ���� 950 �� ���L�� p-GaN ������(j��ng)�^�ֻ�̎���ı����cδ̎��֮ǰ�Ē�����R��Ƭ��D 2 ��ʾ��

�D 2. ������Ƭ�Y(ji��)��

(a) δ��(j��ng)�^̎���� p-GaN ����

(b) ��(j��ng)�^�ֻ�̎���� p-GaN ����

(c) ��(j��ng)�^�ֻ�̎���� undoped-GaN ����

����δ��(j��ng)�^�ֻ�̎��ǰ�� p-GaN ����ľ������ֲڶȞ� 11.8nm ������(j��ng)�^�ֻ�̎���� p-GaN ����ľ������ֲڶ��_���� 71.6nm ������(j��ng)�^�ֻ�̎���� undoped-GaN �����кܶ����S�ču��Y(ji��)��(g��u)���������ֲڶ��_���� 91.9nm ��

������(j��ng)�^����ֻ��������������ܲ��]���ܵ�Ӱ�����ע������� 20mA �r�� DR-LED ������⏊�Ȟ� 133mcd , ��δ��(j��ng)�ֻ�̎���������� 2.77 ����������⏊�Ȟ� 178mcd ���� CV-LED ������ 2.37 �����@����齛(j��ng)�^����ֻ��󣬿��Խo�����ṩ�������ęC���������_ʼ����Ƕ����R���֮��Ĺ�Ҳ����ͨ�^������䣬����M���R���ǃ�(n��i)��ʹ�����@�ø���ij��⡣